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簡單介紹座式真空計的測試原理

更新時間:2015-05-15      瀏覽次數:810
  簡單介紹座式真空計的測試原理
  座式真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。在低壓強氣體中,氣體分子被電離生成的正離子數與氣體壓強成正比。電離真空計是基于在一定條件下,待測氣體的壓力與氣體電離產生的離子流呈正比關系的原理制作的真空測量儀器。
  測量儀器由規管工作電源、發射電流穩壓器、離子流測量放大器等部分組成。熱陰極電離規管與被測真空系統相通。熱陰極電離規管是一個三極管,管內有陰極、柵極和收集極。收集極電位相對于陰極電負電位;柵極相對于陰極電正電位。當電離規管通電加熱后,陰極發射電子,在電子到達柵極的過程中,與氣體分子碰撞而產生正離子和電子的電離現象。當發射電流一定時,正離子數目與被測氣體壓強成正比。正離子被收集極收集后,經測量電路放大,可由批示電表讀出所要測量的真空度。
  座式真空計的真空系統暴露大氣后,電離規玻璃泡和電極表面會吸附很多氣體,在真空環境下,氣體又被釋放出來,影響測覺精度。為消除這種影響,在測量前必須對規管進行除氣。電離規管除氣采用烘烤方法,即給燈絲和柵極可分別通電加熱,板極則采用高頻感應加熱或電子轟擊,使氣體在測量前被釋放出來。

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