淺析電子真空計的測量范圍

更新時間:2015-07-06

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淺析電子真空計的測量范圍
電子真空計在壓力測量中,除極少數直接測量外,絕大多數是間接測量。就是先在被測氣體中引起一定的物理現象,然后再測量這一過程中與壓力有關的物理量,進而設法確定壓力值。這是真空測量的特點,亦會造成某些問題。
任何具體物理現象與壓力的關系,都是在某一壓力范圍內才zui顯著,超出這個范圍,關系變得弱了。因此,任何方法都有其一定的測量范圍,這個范圍就是電子真空計的“量程”。盡可能擴展每一種方法的量程,是真空科學研究的重要內容之一。近代真空技術所涉及到的壓力范圍寬達19個數級(105~10-14pa),沒有任何一種真空計能測量如此寬的壓力范圍,因此總是用幾種真空計分別管轄一定的區域。但由于不同型號的電子真空計在原理上的差異.在相互銜接的區域,往往要造成較大的誤差。
在被測空間引起一定物理現象,還會出現這樣的問題,即從測量的角度出發,本需要一種單純的物理現象,但有時卻不可避免地帶來一系列寄生現象,這些寄生現象不但給測量量帶來誤差,有時還會“喧賓奪主”,*把主要現象掩蓋住了。為改善電子真空計性能及提高真空測量準確度,必須突出主要現象,抑制寄生現象。